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Metallantriebsbänder für die robotische Fertigung von Halbleiter-Wafern

Aug 5, 2019 | Fallstudien

Silikon-Wafer und Mikroschaltungen mit Automatisierungssystem-Kontrollanwendung an einem automatischen RoboterarmKürzlich sprach uns ein langjähriger Kunde wegen eines scheinbar einfachen Projekts an. Er benötigte Ersatz-Antriebsbänder für eine vorhandene Robotik-Vorrichtung. Der Kunde hat sich auf die Entwicklung und Herstellung von forschrittlicher Ausrüstung spezialisiert, die bei der Produktion von Halbleiter-Wafern eingesetzt wird. Hier sind ein hohes Maß an Präzision und Wiederholbarkeit erforderlich. Außerdem war die gewünschte Lieferzeit für den Auftrag sehr kurz, sodass für Fehler kein Raum war.

Metallantriebsbänder sind für Robotik-Ausrüstungen und Reinraumanwendungen bestens geeignet

Die erfolgreiche Produktion kleiner Halbleitergeräte erfordert eine ausgefeilte Herstellungsausrüstung, die einen Kernsatz von Prozessen, zu denen hunderte komplizierte Einzelschritte gehören, wiederholen kann. Dieser spezielle Kunde stellt eine Reihe von Geräten her, die zur Durchführung von Prozessen auf hoher Ebene entworfen wurden. Dazu gehören dielektrisches Ätzen, Ätzen auf atomarer Ebene, Aufdampfung, Plasma-Fasenschneiden, elektrochemische Bedampfung und mehr.

Große Silikon-Wafer-ÄtzmaschineFür dieses Projekt benötigte der Kunde einen Satz von Ersatz-Metallantriebsbändern für die vorhandene Robotik-Ausrüstung. Edelstahl-Antriebsbänder von Belt Technologies sind die ideale Wahl für Robotik-Anwendungen, besonders solche, die ein hohes Maß an Präzision und Wiederholgenauigkeit erfordern. Metallantriebsbänder können praktisch ohne Gegenbewegung arbeiten, wodurch die Positioniergenauigkeit und die Robotik-Bewegung für eine maximale Betriebslebensdauer des Gerätes optimiert werden. Sie können auch für optimale Leistungen in jeder Anwendung kundenspezifisch angepasst werden.

Für diese spezielle Anwendung mussten die Antriebsbänder effektiv in einer sterilen Vakuum-Umgebung arbeiten können, um eine Verunreinigung der empfindlichen Elektronik, die hergestellt wird, zu vermeiden. Edelstahl ist haltbar und sauber und kann die Anforderungen extremer Betriebsbedingungen erfüllen. Dazu gehören hohe und niedrige Temperaturen, Vakuum sowie Reinraum-Umgebungen. Der Kunde arbeitet seit Jahren mit Belt Technologies zusammen, denn unsere Metallantriebsbänder erfüllen die Anforderungen an einen gleichmäßigen Betrieb in ihrer Ausrüstung zur Chip-Herstellung.

Schnelle Bearbeitungszeit bei neuen und Ersatzteilen

Unser Team konnte für den Kunden Ersatz-Antriebsbänder aus 301HY-Edelstahl bereitstellen. Der Kunde war mit der Qualität der Teile sehr zufrieden und da Belt Technologies den Auftrag innerhalb der gewünschten Lieferzeit erfüllen konnte, konnte der Kunde seinen ursprünglichen Produktionsplan einhalten.

Für weitere Informationen zu Edelstahlbänder und Antriebsbänder für Robotik-Anwendungen kontaktieren Sie bitte Belt Technologies noch heute.

Design-Leitfaden und Techniker-Referenz für Metallbänder

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